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| 性能參數: |
| 位移量程 | 5、10、20、25、40、50、100mm |
| 供電電源 | + 12~30VDC |
工作電流 |
電壓輸出型:電流 < 10m A |
| 二線制4 - 20 m A電流型： 電流4 ~25 m A | |
| RS 485輸出型： 電流 15 ~40m A | |
| 信號輸出 | 0-5V/0-10V/4-20mA/ RS 485 可選 |
| 線性誤差 | ≤±0 . 25 % FS |
| 重複誤差 | 最高可達10 um |
| 解析度 | ≤1um（ 最高） 數位式輸出是16 bit |
| 動態特性 | 最大50HZ |
| 工作溫度 | -25°C~+85°C |
| 耐受衝擊 | 250g/11毫秒 |
| 振動允限 | 10g/2KHZ |
| 溫度係數 | 零點≤0.01%°C |
| 靈敏度 | ≤0.025%°C |
| 電壓 | 3Vrms |
| 頻率 | 5KHZ |
